一、引言近年来

人们为了解决球面光学零件可随意地检测其曲率半径及面形误差问题

陆续研制出激光球面干涉仪和全息补偿球面干涉仪。前者有一整套结构复杂、要求极高的标准镜头

后者虽然用全息补偿板的办法降低了对标准镜头设计和加工精度的要求

但两者仍然存在着球面顶点干涉花样由于波面横向颠倒

定位不准

球径测量精度下降问题;补偿板显定影处理后条纹的不对称变异以及随被检测球面曲率半径增加而程差增大

从而造成对激光光源纵模(时间相干性)要求提高或者使干涉条纹对