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纸质出版:1983
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徐润源, 曹金山. 激光定位对刀切割[J]. 光学技术, 1983,(5):30-31.
徐润源, 曹金山. 激光定位对刀切割[J]. 光学技术, 1983,(5):30-31. DOI:
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用晶体制作各种器件时
首先要选取一定的晶向
然后切割成块体或片子。对某些器件来说
定轴精度要求较高。用X-射线定向仪可以进行精确定向(精度达15″)
但往往在切割时又会产生较大的偏离。多年来切割硅片时
采用光相图法定向与内圆切割结合使用
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CSCD
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