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纸质出版:1985
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陈毓宛. 在DMD-450镀膜机上实现工件自转及控制片转动装置[J]. 光学技术, 1985,(1):32-34.
陈毓宛. 在DMD-450镀膜机上实现工件自转及控制片转动装置[J]. 光学技术, 1985,(1):32-34. DOI:
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为了提高镀膜的监控精度
并在大尺寸零件上得到均匀的膜厚
我们对DMD-450镀膜机钟罩内的工件架和比较片机构作了一些改进
实现了控制片(比较片)的转动并可更换
以及工件的自转。具体机械介绍如下。一、关于控制片机构的转动问题1.当采用拱形工件架时为实现控制片转动
并使转动工件架与控制片不相碰
采用如图1所示的拱形工件架。图中1是光源
2是聚光镜
3是控制片
4是反光镜
5是单色仪
6是光电倍增管
7是
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CSCD
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