引言光学零件表面疵病检查仪是用来定量检测光学零件表面疵病的仪器(以下简称疵病检查仪)。它的工作原理是将He-Ne激光器发出的光束经扩束和聚焦

使光束焦点落在被测透镜表面上

聚焦光点由透镜中心向边缘作螺旋扫描。当光点遇到划痕或斑点时产生脉冲信号

累计脉冲的宽度就可实现对表面疵病的自动检测。从已收集到的资料

我们知道国外的同类仪器和国内正在研制的仪器其电气控制部分均是