引言调制盘在红外搜索跟踪系统中起着主要作用

它既能提供运动目标的位置信息

又能滤去强烈的背景辐射

使系统信噪比大大提高。它的制造工艺采用光刻技术。光刻是一种复印图象同化学腐蚀相结合的综合性技术

它先采用照相复印的方法

将光刻母版上的图形精确地复印在涂有感光胶的金属层上

然后利用光刻胶的保护作用对金属层进行选择性化学腐蚀

从而在金属层上得到与光刻胶相应的图案

目前采用的光刻方法是接触曝光法。