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纸质出版:1987
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用于位移测量的激光装置[J]. 光学技术, 1987,(3).
用于位移测量的激光装置[J]. 光学技术, 1987,(3). DOI:
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柯克科学电子公司研制了一种应用于科研、精密工程、工业民用工程等方面的LM-10型激光测微器
该仪器可用于X—Y 位移测量和微调系统。该仪器的测量范围为2.5cm~500m(X—Y 方向位移)
其测量精度为10μm。为了保持测量精确和长期稳定
该激光装置直接采用该公司稳定的锥形激光管。该装置由一个硅象限探测头和一个X—Y位移监测器所组成。位移监测器用来指示探测
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