构成集成光路需要各种波导元器件。波导无源元器件按其功能可以分成光路变换器、分束器、起偏器、波长分波器/合波器、以及透镜等。波导元器件的制作对加工误差的要求十分苛刻

而且边缘效应对器件性能有极大的影响。本文主要讨论用于集成光路的光栅无源元器件。利用光栅结构可以得到上述各种波导无源元器件

因此

光栅技术的开发对于集成光学的研究有重要的意义。本文还对制作光栅元器件的新技术——电子束写入技术作简要叙述

并介绍系统的结构与工作原理。