监控多层介质膜的椭圆偏振光方法的研究

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监控多层介质膜的椭圆偏振光方法的研究

更新时间：2025-09-01

- 监控多层介质膜的椭圆偏振光方法的研究
- 暂无标题
- 光学技术 1988年第4期页码：19-23
- 作者机构：
  
  1. 1:北京林业大学
  2. 2:北京师范大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1988
- 稿件说明：
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沈繁宜, 尚世铉, 郑东东, 等. 监控多层介质膜的椭圆偏振光方法的研究[J]. 光学技术, 1988,(4):19-23.
沈繁宜, 尚世铉, 郑东东, 等. 监控多层介质膜的椭圆偏振光方法的研究[J]. 光学技术, 1988,(4):19-23. DOI：

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本文介绍了用椭圆仪监控多层介质膜的原理、计算方法、实验结果。文章还提出了本方法的前景和目前存在的问题。

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