这种测量技术提供了超声波自由接触干涉测量法

能够测量振动的位移、运动工件的表面变形

例如快速运动的工件

在轧制或退火中的热钢等。激光束由分光镜分成两束光:一束光投射到工件的被测点

称之为测量光束;另外一束光投射到工件上的被参考点处

称之为参考光束

且参考点接近于测量点。来自测量点和参考点的反射光束再经分光镜会合后射入检测器(见图)。这种光检测器可以是光电倍增管、光电二极管

也可以是雪崩光电二极管或光电半导体