用光学极值法监控非四分之一波长薄膜的厚度

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更新时间：2025-09-01

- 用光学极值法监控非四分之一波长薄膜的厚度
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- 光学技术 1989年第4期页码：19-22
- 作者机构：
  
  1:南京建筑工程学院图书馆
- 作者简介：
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- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1989
- 稿件说明：
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BradleyBobbs, J.EarlRudisill, 朱兢. 用光学极值法监控非四分之一波长薄膜的厚度[J]. 光学技术, 1989,(4):19-22.
BradleyBobbs, J.EarlRudisill, 朱兢. 用光学极值法监控非四分之一波长薄膜的厚度[J]. 光学技术, 1989,(4):19-22. DOI：

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本文介绍了一种在生产非四分之一波长多层膜时监控膜厚的方法。除了监控信号的波长在每一层膜改变之外

这种方法类似于传统的极值法

并且不需要变更常用的仪器。文中用一个例子说明这种方法使用的效果。

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