半导体薄膜在航天器上的应用

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半导体薄膜在航天器上的应用

更新时间：2025-09-01

- 半导体薄膜在航天器上的应用
- Application of Semicondutive Films on Spacecraft
- 光学技术 1990年第1期页码：25-27
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  中图分类号：
- 纸质出版：1990
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卢榆孙, 李华, 韩小文. 半导体薄膜在航天器上的应用[J]. 光学技术, 1990,(1):25-27.

Application of Semicondutive Films on Spacecraft[J]. 1990, (1): 25-27.
卢榆孙, 李华, 韩小文. 半导体薄膜在航天器上的应用[J]. 光学技术, 1990,(1):25-27. DOI：

Application of Semicondutive Films on Spacecraft[J]. 1990, (1): 25-27. DOI：

本文简述了在控制航天器表面充电状态中

若干种半导体薄膜的应用

讨论了应用平面磁控反应溅射方法制备氧化铟和氧化铟锡薄膜的工艺

对其透光性与制备时的气氛条件及膜厚的关系也作了说明。

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