高精度格网标准板的研制

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高精度格网标准板的研制

更新时间：2025-09-01

- 高精度格网标准板的研制
- Manufacture high precise standard plate
- 光学技术 1991年第5期
- 作者机构：
  
  1:江南光学仪器厂
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1991
- 稿件说明：
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金文惇. 高精度格网标准板的研制[J]. 光学技术, 1991,(5).

Manufacture high precise standard plate[J]. 1991, (5).
金文惇. 高精度格网标准板的研制[J]. 光学技术, 1991,(5). DOI：

Manufacture high precise standard plate[J]. 1991, (5). DOI：

本文详细介绍了200mm×200mm高精度格网标准板的制作工艺。在研制过程中采用了激光测长技术、光电瞄准技术、高精度光子平板玻璃研磨、镀膜及刻划技术。使格网标准板的点位误差经中国计量科学院鉴测已达2μm

达到国内目前先进水平。本文还对格网标准板的误差进行了分析。

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