扫描式线宽测量仪

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扫描式线宽测量仪

更新时间：2025-09-01

- 扫描式线宽测量仪
- Scanning width-measuring meter
- 光学技术 1992年第6期
- 作者机构：
  
  1. 1:浙江大学光仪系
  2. 2:浙江大学光仪系
  3. 3:浙江大学光仪系,310027
  4. 4,310027
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1992
- 稿件说明：
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鞠同忠, 杨甬英, 龚予吉. 扫描式线宽测量仪[J]. 光学技术, 1992,(6).

Scanning width-measuring meter[J]. 1992, (6).
鞠同忠, 杨甬英, 龚予吉. 扫描式线宽测量仪[J]. 光学技术, 1992,(6). DOI：

Scanning width-measuring meter[J]. 1992, (6). DOI：

本文所研究的扫描式线宽测量仪是一种带光度测量的非接触式测量精密线宽的显微镜

可以对微小尺寸上反映出来的光度变化通过光电转换变成电信号经A/D输入计算机进行数据处理

并且将处理结果以距离——强度形式显示出来

测量精度可达1.3μm。

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