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1. 1:浙江大学光科系
2. 2:浙江大学光科系,310027
3. 3,310027
纸质出版:1992
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吴启宏, 顾培夫. 超半球透镜减反射膜[J]. 光学技术, 1992,(5).
The AR coating on the super-hemisperical lens[J]. 1992, (5).
吴启宏, 顾培夫. 超半球透镜减反射膜[J]. 光学技术, 1992,(5). DOI:
The AR coating on the super-hemisperical lens[J]. 1992, (5). DOI:
本文简单地介绍了超半球透镜减反射膜膜厚分布的理论计算结果。通过调节蒸发源与基片间的相对位置和“散乱”淀积技术获得了与理论要求基本一致的膜厚分布。通过离子轰击、基板烘烤和热处理获得了满意的膜层牢固度。
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