干涉光杠杆测量原理及应用

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干涉光杠杆测量原理及应用

更新时间：2025-09-01

- 干涉光杠杆测量原理及应用
- Interference—optical—lever micrometric principle and applied
- 光学技术 1993年第6期
- 作者机构：
  
  1. 1:山东纺织工学院
  2. 2:山东纺织工学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1993
- 稿件说明：
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刘兵, 史广安. 干涉光杠杆测量原理及应用[J]. 光学技术, 1993,(6).

Interference—optical—lever micrometric principle and applied[J]. 1993, (6).
刘兵, 史广安. 干涉光杠杆测量原理及应用[J]. 光学技术, 1993,(6). DOI：

Interference—optical—lever micrometric principle and applied[J]. 1993, (6). DOI：

本文分析了用激光干涉法

使用光杠杆的测微原理

这种测微原理具有精度高、测量快、实时显示的特点

对检测高乎整度器件有广泛的应用。

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