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1:清华大学精仪系
纸质出版:1994
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尤政, 田芋, 章恩耀. 光外差干涉全光纤表面粗糙度传感器的研究[J]. 光学技术, 1994,(6).
Research on Optical Heterodyne interference Fiber Surface Roughness Sensor[J]. 1994, (6).
尤政, 田芋, 章恩耀. 光外差干涉全光纤表面粗糙度传感器的研究[J]. 光学技术, 1994,(6). DOI:
Research on Optical Heterodyne interference Fiber Surface Roughness Sensor[J]. 1994, (6). DOI:
本文介绍了基于半导体激光器线性调频干涉技术的全光纤表面粗糙度传感器的研究,该传感器的灵敏度为0.005μm,量程为4mm,属微型化传感器,辅之以机械传动机构可完成对复杂曲面表面,沟槽表面及3mm以上内孔表面的表面粗糙度测量,且结构简单易于实用化。
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