扫描镜的研制工艺与检测

何伟; 黄丽菊; 路敦武; 沈蓓军

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

扫描镜的研制工艺与检测

更新时间：2025-09-01

- 扫描镜的研制工艺与检测
- Manufacturing technology and testing of scanning mirror
- 光学技术 1995年第1期
- 作者机构：
  
  1:上海同济大学物理系，上海光学精密机械研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
移动端阅览
何伟, 黄丽菊, 路敦武, 等. 扫描镜的研制工艺与检测[J]. 光学技术, 1995,(1).

Manufacturing technology and testing of scanning mirror[J]. 1995, (1).
何伟, 黄丽菊, 路敦武, 等. 扫描镜的研制工艺与检测[J]. 光学技术, 1995,(1). DOI：

Manufacturing technology and testing of scanning mirror[J]. 1995, (1). DOI：

摘要

用于卫星探测等仪器中的扫描镜，形状一般为三面或四面镜，技术要求很高，因此，加工工具和方法也需要相应的改进。粗加工时主要控制面与面的角度和对称尺寸；精抛时即要注意面形，又要控制面与面的角度与塔差。加工过程中检查面形主要用平面干涉仪，检查面间夹角和塔差使用两个光轴互相垂直的平面仪，加工结果，四反射面扫描镜最佳面间夹角误差优于１″，塔差和平行度以及面形均达到技术要求。

Abstract

关键词

Keywords

references

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据

扫描镜的研制工艺与检测

Manufacturing technology and testing of scanning mirror

DOI：

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references