椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究

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更新时间：2025-09-01

- 椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究
- Study on Measurement of Thickness and Refractive Index of Rough Surface Films by Using Euipsametry
- 光学技术 1995年第3期
- 作者机构：
  
  1:华南理工大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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刘崇进, 沈家瑞, 李凤仙. 椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究[J]. 光学技术, 1995,(3).

Study on Measurement of Thickness and Refractive Index of Rough Surface Films by Using Euipsametry[J]. 1995, (3).
刘崇进, 沈家瑞, 李凤仙. 椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究[J]. 光学技术, 1995,(3). DOI：

Study on Measurement of Thickness and Refractive Index of Rough Surface Films by Using Euipsametry[J]. 1995, (3). DOI：

本文阐述了漫反射系数和粗糙面薄膜的厚度，寻出了漫反射椭偏测量术的方程，实用中测量了湿敏元件的湿敏薄膜厚度。

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