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1:中国北方光电工业总公司
纸质出版:1995
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张云熙. 非球面超精密镜面的抛光加工[J]. 光学技术, 1995,(4).
Polishing of ultra-precision aspherical mirror[J]. 1995, (4).
张云熙. 非球面超精密镜面的抛光加工[J]. 光学技术, 1995,(4). DOI:
Polishing of ultra-precision aspherical mirror[J]. 1995, (4). DOI:
本文从抛光的方法、超精密抛光机的机械抛光法和超精密抛光机的特点几方面介绍了非球面超精密镜面的抛光加工。重点介绍了KRP-2200型超精密抛光机的性能、特点和规格。
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