高精度表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统的研制

赵洪志; 李达成; 曹芒

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高精度表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统的研制

更新时间：2025-09-01

- 高精度表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统的研制
- Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy
- 光学技术 1997年第5期
- 作者机构：
  
  1:清华大学精仪系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  香港蒋氏工业慈善基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1997
- 稿件说明：
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赵洪志, 李达成, 曹芒. 高精度表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统的研制[J]. 光学技术, 1997,(5).

Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy[J]. 1997, (5).
赵洪志, 李达成, 曹芒. 高精度表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统的研制[J]. 光学技术, 1997,(5). DOI：

Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy[J]. 1997, (5). DOI：

摘要

针对用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪，文中介绍了整机的信号处理系统，着重讨论了两项关键技术。即宽动态范围测量信号的自动控制和高精度动态相位测量，系统的测量精度达２．６°（相当于３．２ｎｍ），允许测量中最大多普勒频移±２０ｋＨｚ（对应高度的变化率±８．７５×１０－３ｍ／ｓ），完全满足磨床加工中表面粗糙度在线测量的要求。现场测试证实了这一点，这对于精加工、超精加工表面粗糙度的在线质量控制、提高加工精度等非常重要。

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Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy

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