用于位移精密测量的光外差马赫-泽德干涉仪

郭广平; 计欣华; 秦玉文; 杜家吉; 王自明

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用于位移精密测量的光外差马赫-泽德干涉仪

更新时间：2025-09-01

- 用于位移精密测量的光外差马赫-泽德干涉仪
- Mach Zehnder heterodyne interferometer for high precision displacement measurement
- 光学技术 1997年第6期
- 作者机构：
  
  1. 1:北京航空材料研究院六室
  2. 2:天津大学力学系北京航空材料研究院六室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1997
- 稿件说明：
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郭广平, 计欣华, 秦玉文, 等. 用于位移精密测量的光外差马赫-泽德干涉仪[J]. 光学技术, 1997,(6).

Mach Zehnder heterodyne interferometer for high precision displacement measurement[J]. 1997, (6).
郭广平, 计欣华, 秦玉文, 等. 用于位移精密测量的光外差马赫-泽德干涉仪[J]. 光学技术, 1997,(6). DOI：

Mach Zehnder heterodyne interferometer for high precision displacement measurement[J]. 1997, (6). DOI：

摘要

本文介绍了我们研制的用于位移精密测量的光外差马赫－泽德干涉仪。由于在光路设计中采用了共光路的布置，共模抑制技术得以实现，环境干扰产生的噪声得到很好的消除，相位检测的稳定性和精度大大提高。使用该干涉仪测量了一台在光学相移器内ＰＺＴ微位移驱动装置的电压－位移关系。测量结果具有良好的线性和重复性，与预期相符。根据测量数据分析，该光外差干涉仪具有３ｎｍ的位移测量精度。

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Mach Zehnder heterodyne interferometer for high precision displacement measurement

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