线性调频半导体激光器实现大尺寸静态、动态测距

赵洪志

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线性调频半导体激光器实现大尺寸静态、动态测距

更新时间：2025-09-01

- 线性调频半导体激光器实现大尺寸静态、动态测距
- Research on static and dynamic interferometric measurement for large scale workpiece using a frequency triangulated laser diode
- 光学技术 1998年第2期
- 作者机构：
  
  1:清华大学精仪系光电技术及仪器教研组
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国博士后科学基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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赵洪志. 线性调频半导体激光器实现大尺寸静态、动态测距[J]. 光学技术, 1998,(2).

Research on static and dynamic interferometric measurement for large scale workpiece using a frequency triangulated laser diode[J]. 1998, (2).
赵洪志. 线性调频半导体激光器实现大尺寸静态、动态测距[J]. 光学技术, 1998,(2). DOI：

Research on static and dynamic interferometric measurement for large scale workpiece using a frequency triangulated laser diode[J]. 1998, (2). DOI：

摘要

提高大型机电设备的加工水平，动态在线测量是关键。将线性调频半导体激光器应用于动态测量，对目标的位置及移动的速度、加速度等实现准实时测量，可对加工过程实现动态补偿；依靠系统的自校准，消除半导体激光器的老化对激光波长的影响，使得测量精度得以保证，进而使其实用化成为可能；待测的参数是拍频的频率，即测量精度与半导体激光器的输出光功率无关，加之频率是数字量，便于和微机相连组成自动测控系统。系统静态相对测量精度为３×１０－４。整个测量系统体积小、结构简单，便于实现生产和现场安装，可广泛应用于大型机电设备的静态、动态测量。

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Research on static and dynamic interferometric measurement for large scale workpiece using a frequency triangulated laser diode

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