减小薄板玻璃工件研磨变形的研究

杨建东; 张心明; 范景峰; 王黎明

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减小薄板玻璃工件研磨变形的研究

更新时间：2025-09-01

- 减小薄板玻璃工件研磨变形的研究
- Study on reducing workpiece deformation in lapping slice glass
- 光学技术 1998年第3期
- 作者机构：
  
  1:长春光机学院精密加工技术开发中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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杨建东, 张心明, 范景峰, 等. 减小薄板玻璃工件研磨变形的研究[J]. 光学技术, 1998,(3).

Study on reducing workpiece deformation in lapping slice glass[J]. 1998, (3).
杨建东, 张心明, 范景峰, 等. 减小薄板玻璃工件研磨变形的研究[J]. 光学技术, 1998,(3). DOI：

Study on reducing workpiece deformation in lapping slice glass[J]. 1998, (3). DOI：

摘要

针对薄板玻璃刚度差，在研磨中易产生变形这一特点，探讨了减小其变形的不同方法。我们用传统的上盘法粘结固定工件进行加工，工件在下盘前面形精度较好，能满足要求（在２５ｍｍ×２５ｍｍ面积上的平面度为０．０５μｍ），但在下盘后产生的变形使其面形精度下降，在２５ｍｍ×２５ｍｍ面积上的平面度为０．２μｍ，已不能满足要求。采用真空吸附法国固定工件，消除了工件在粘结过程中由于温度变化产生的变形，而且在研磨过程中又设法减小对工件施加的压力，从而减小了工件在研磨过程中产生的变形，使加工后的工件面形与加工过程中的面形接近，这就保证了工件的面形精度。

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Study on reducing workpiece deformation in lapping slice glass

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