姚汉民, 魏全忠, 齐晓慧. 亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校[J]. 光学技术, 1998,(3).

Optical assembly and rectification of sub micro (i line and g line) photolithographic lenses[J]. 1998, (3).

姚汉民, 魏全忠, 齐晓慧. 亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校[J]. 光学技术, 1998,(3). DOI：

Optical assembly and rectification of sub micro (i line and g line) photolithographic lenses[J]. 1998, (3). DOI：