汽相沉积法SnO<sub>2</sub>薄膜光谱透过率气敏特性的研究

冯金垣; 越泽庭; 黎达宇; 杨日福

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汽相沉积法SnO₂薄膜光谱透过率气敏特性的研究

更新时间：2025-09-01

- 汽相沉积法SnO₂薄膜光谱透过率气敏特性的研究
- The study of the spectrum transmission gas sensing charactersof SnO2 thin film maded with vapour deposit
- 光学技术 1998年第4期
- 作者机构：
  
  1:华南理工大学应用物理系
- 作者简介：
- 基金信息：
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  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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冯金垣, 越泽庭, 黎达宇, 等. 汽相沉积法SnO₂薄膜光谱透过率气敏特性的研究[J]. 光学技术, 1998,(4).

The study of the spectrum transmission gas sensing charactersof SnO2 thin film maded with vapour deposit[J]. 1998, (4).
冯金垣, 越泽庭, 黎达宇, 等. 汽相沉积法SnO₂薄膜光谱透过率气敏特性的研究[J]. 光学技术, 1998,(4). DOI：

The study of the spectrum transmission gas sensing charactersof SnO2 thin film maded with vapour deposit[J]. 1998, (4). DOI：

摘要

本文研究了用汽相沉积法制备ＳｎＯ２气敏薄膜和ＳｎＯ２膜的光谱透过率气敏特性。用汽相沉积制备ＳｎＯ２的方法是利用一个密封的石英管系统，把ＳｎＣｌ４溶液置于系统内，氧气通人系统，然后系统升温使ＳｎＣｌ４气化，通过控制氧气流量、沉积温度和沉积时间等，使气化后的Ｓｎ原子与氧原子在一定条件下生成ＳｎＯ２，沉积在玻璃衬底上。本文用ＡＳ－４３０Ｓ俄歇式电子能谱仪测试膜片的主要成分，并用光栅单色仪测试了膜片在乙醇还原性气体中的气敏特性。实验结果表明：与热喷法制备的ＳｎＯ２膜比较，沉积法具有工艺重复性好，可以控制沉积膜的厚度，灵敏度高等优点。因此，可制备出有选择性的“气敏－光透过率”型气敏传感器。

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The study of the spectrum transmission gas sensing charactersof SnO2 thin film maded with vapour deposit

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