X射线干涉测量技术的最新进展

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X射线干涉测量技术的最新进展

更新时间：2025-09-01

- X射线干涉测量技术的最新进展
- Latest development of the Xray interferometry
- 光学技术 1998年第4期
- 作者机构：
  
  1:清华大学测试技术与仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(U20B2057)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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王林, 曹芒, 李达成. X射线干涉测量技术的最新进展[J]. 光学技术, 1998,(4).

Latest development of the Xray interferometry[J]. 1998, (4).
王林, 曹芒, 李达成. X射线干涉测量技术的最新进展[J]. 光学技术, 1998,(4). DOI：

Latest development of the Xray interferometry[J]. 1998, (4). DOI：

结合Ｘ射线干涉的基本特点，介绍了Ｘ射线干涉仪的几种基本形式。阐述了Ｘ射线干涉测量技术在纳米长度测量、小角度测量、ＳＰＭ的定标以及在其它测量领域内的最新进展，并对Ｘ射线干涉测量技术的发展作了展望。

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