新型自扫描激光干涉系统

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新型自扫描激光干涉系统

更新时间：2025-09-01

- 新型自扫描激光干涉系统
- New selfscanning laser interferometer
- 光学技术 1998年第4期
- 作者机构：
  
  1:清华大学精密仪器与机械学系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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徐毓娴, 薛实福, 李庆祥. 新型自扫描激光干涉系统[J]. 光学技术, 1998,(4).

New selfscanning laser interferometer[J]. 1998, (4).
徐毓娴, 薛实福, 李庆祥. 新型自扫描激光干涉系统[J]. 光学技术, 1998,(4). DOI：

New selfscanning laser interferometer[J]. 1998, (4). DOI：

本文介绍了一种新型自扫描激光干涉系统的原理和结构。该系统采用自扫描光电二极管列阵（以下简称ＳＳＰＤＡ）接收器件，实现对干涉仪信号的调制，使测量信号转换成交流信号，避免了直流放大器零点漂移，消除了低频干扰。实验证明，该系统在采用普通器件的情况下，其分辨率优于０．０２μｍ。

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