离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

更新时间：2025-09-01

- 离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜
- Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature
- 光学技术 1998年第3期
- 作者机构：
  
  1:中国科学院光电技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
移动端阅览
黄伟, 张云洞. 离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜[J]. 光学技术, 1998,(3).

Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature[J]. 1998, (3).
黄伟, 张云洞. 离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜[J]. 光学技术, 1998,(3). DOI：

Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature[J]. 1998, (3). DOI：

简要叙述了锗基片微光学元件红外宽带减反膜的设计与制作。着重介绍了离子束辅助淀积制备该膜系的过程，给出了用该方法制作８～１２μｍ波段的减反膜的测试曲线，它具有峰值透过率高，在设计波长范围内的平均透过率大于９７％以上，膜层附着好，可以切割和擦洗，可以在室温和１００Ｋ低温下反复循环使用。

浏览量

157

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据