伍凡, 杨力, 陈强, 等. 亚微米投影光刻物镜光学制造技术[J]. 光学技术, 1998,(3).

Optical fabrication technology of sub micro lithography lens[J]. 1998, (3).

伍凡, 杨力, 陈强, 等. 亚微米投影光刻物镜光学制造技术[J]. 光学技术, 1998,(3). DOI：

Optical fabrication technology of sub micro lithography lens[J]. 1998, (3). DOI：