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1:昆明物理研究所
纸质出版:1998
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田种运, 孙娟, 卢德明. 红外倒焊机的结构和改进[J]. 光学技术, 1998,(3).
The structure and improvement of infrared flip chip alignment bonder[J]. 1998, (3).
田种运, 孙娟, 卢德明. 红外倒焊机的结构和改进[J]. 光学技术, 1998,(3). DOI:
The structure and improvement of infrared flip chip alignment bonder[J]. 1998, (3). DOI:
对准倒焊机是制备混合红外焦平面阵列(HIRFPA)所必需的设备。HDD-1型红外倒焊机是国内第一台自行研制的光机电仪器。叙述了本仪器的原理、特性和在HIRFPA中的应用,讨论了该仪器的对准精度,提出了采用自动校准器改进上、下两个焊接面找平的实施方法。
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