提高二元光学器件衍射效率的准连续编码策略

赵丽萍; 邬敏贤; 金国藩; 严瑛白

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提高二元光学器件衍射效率的准连续编码策略

更新时间：2025-09-01

- 提高二元光学器件衍射效率的准连续编码策略
- A quasi continuous coding method to enhance DOE's diffraction effenciency
- 光学技术 1998年第5期
- 作者机构：
  
  1:清华大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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赵丽萍, 邬敏贤, 金国藩, 等. 提高二元光学器件衍射效率的准连续编码策略[J]. 光学技术, 1998,(5).

A quasi continuous coding method to enhance DOE's diffraction effenciency[J]. 1998, (5).
赵丽萍, 邬敏贤, 金国藩, 等. 提高二元光学器件衍射效率的准连续编码策略[J]. 光学技术, 1998,(5). DOI：

A quasi continuous coding method to enhance DOE's diffraction effenciency[J]. 1998, (5). DOI：

摘要

基于标量衍射理论，二元光学器件的衍射效率，微结构误差对衍射效率的影响，提出了一种准连续编码方法，并给出了加工非２ｎ台阶所需掩模板的具体形式。在一定的加工条件和工艺水平下，采用这种编码方法，可以不增加加工成本和工序，仅通过新颖的掩模板设计方法充分利用现有加工条件和设备，使二元光学器件的衍射效率得到很大程度的提高。从而不仅能使一般混合系统的效率得到提高，更能充分发挥混合光学系统的成像能力。此编码方法的采用有利于推进二元光学器件的实用化。

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