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1:长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室
纸质出版:1998
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李学千, 宋晓伟, 曲轶, 等. 多层光学薄膜周期厚度的双晶X射线掠入射研究[J]. 光学技术, 1998,(5).
Study of periodic thickness of multilayer optical thin films by double crystal grazing incident X ray[J]. 1998, (5).
李学千, 宋晓伟, 曲轶, 等. 多层光学薄膜周期厚度的双晶X射线掠入射研究[J]. 光学技术, 1998,(5). DOI:
Study of periodic thickness of multilayer optical thin films by double crystal grazing incident X ray[J]. 1998, (5). DOI:
阐述了掠入射X射线测量薄膜厚度的条件,讨论和分析了掠入射X射线测量多层薄膜厚度的干涉原理和方法。利用双晶X射线衍射仪对多层光学薄膜的周期厚度进行了掠入射小角度测量,获得了令人满意的结果,测量值与设计值极好地吻合。
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