近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法

刘秀梅; 王佳; 李达成

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近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法

更新时间：2025-09-01

- 近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法
- Non optical methods of sample tip distance regulation based on shear force in SNOM
- 光学技术 1998年第5期
- 作者机构：
  
  1:清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(U20B2057)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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刘秀梅, 王佳, 李达成. 近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法[J]. 光学技术, 1998,(5).

Non optical methods of sample tip distance regulation based on shear force in SNOM[J]. 1998, (5).
刘秀梅, 王佳, 李达成. 近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法[J]. 光学技术, 1998,(5). DOI：

Non optical methods of sample tip distance regulation based on shear force in SNOM[J]. 1998, (5). DOI：

摘要

扫描近场光学显微镜（ＳｃａｎｎｉｎｇＮｅａｒ－ｆｉｅｌｄＯｐｔｉｃａｌＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＮＯＭ）自８０年代中期以来获得了迅速的发展并得到了具有纳米（亚纳米）尺度分辨率的光学图像。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制尤为重要，而实现起来比较困难。人们提出了多种方法，其中基于剪切力原理的控制方法最常用而且实验证明是可靠的。本文综述了扫描近场光学显微镜发展以来所出现的基于剪切力原理进行样品／探针间距的探测的一些主要的非光学方法。包括利用ＰＭＴ直接探测样品辐射，利用音叉、电容、阻抗以及压电效应的探没方法等，并对各种方法的优缺点进行了分析比较。

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