表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势

梁嵘; 李达成; 曹芒; 赵洋

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表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势

更新时间：2025-09-01

- 表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势
- Measurement and characterization tendency of the surface microtopography
- 光学技术 1998年第6期
- 作者机构：
  
  1:清华大学精密仪器系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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梁嵘, 李达成, 曹芒, 等. 表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势[J]. 光学技术, 1998,(6).

Measurement and characterization tendency of the surface microtopography[J]. 1998, (6).
梁嵘, 李达成, 曹芒, 等. 表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势[J]. 光学技术, 1998,(6). DOI：

Measurement and characterization tendency of the surface microtopography[J]. 1998, (6). DOI：

摘要

由于表面加工质量的不断提高，对微观形貌测量技术提出了更高的要求。传统触针式轮廓仪测量具有稳定、可靠、测量动态范围大等优点，但会划伤被测表面；而非接触式形貌测量技术克服了接触式测量易划伤表面的缺点，它主要包括光学散射法、各种光探针法、光学显微干涉法以及采用ＳＥＭ、ＳＴＭ、光子隧道显微镜和原子力显微镜（ＡＦＭ）来探测表面微观形貌的方法。各种测量方法均有其优点和局限性。光学测量方法由于受衍射限制，使其横向分辨率很难提高，在测量大斜率及台阶表面时，测量误差很大。而ＡＦＭ被公认为是一种理想的表面微观形貌测量方法。此外，在表面微观形貌评定方面，国际上正积极探索各种三维评定参数以取代原来的二维参数。

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