用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法

戴高良; 殷纯永

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用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法

更新时间：2025-09-01

- 用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法
- Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology
- 光学技术 1999年第1期
- 作者机构：
  
  1:清华大学精密仪器与机械学系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金,国家教委博士点基金,精密测试技术与仪器国家重点实验室开放基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1999
- 稿件说明：
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戴高良, 殷纯永. 用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法[J]. 光学技术, 1999,(1).

Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology[J]. 1999, (1).
戴高良, 殷纯永. 用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法[J]. 光学技术, 1999,(1). DOI：

Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology[J]. 1999, (1). DOI：

摘要

通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数，可得到存在一定冗余度的一组测量结果，经过一定的逻辑混合；可实观测量分辨率优于０．１ｎｍ，测量范围不受λ／２周期限制，从而克服了以往单一采用相位测量法测量范围限于一个周期和锁相倍频计数法分辨率不易提高的难题。给出了在实际纳米测量干涉仪采用这种外差信号处理方法的测量结果。

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用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法

Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology

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