纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究

戴高良; 殷纯永; 谢广平

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纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究

更新时间：2025-09-01

- 纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究
- Study on phase error of the heterodyne signal process system for nanometrology
- 光学技术 1999年第2期
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测量技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:中国矿业大学北京研究生部
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家教委博士点基金,精密测试技术与仪器国家重点实验室开放基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1999
- 稿件说明：
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戴高良, 殷纯永, 谢广平. 纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究[J]. 光学技术, 1999,(2).

Study on phase error of the heterodyne signal process system for nanometrology[J]. 1999, (2).
戴高良, 殷纯永, 谢广平. 纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究[J]. 光学技术, 1999,(2). DOI：

Study on phase error of the heterodyne signal process system for nanometrology[J]. 1999, (2). DOI：

摘要

外差干涉是实现纳米精度长度测量的重要手段。采用电子倍频、混频、高频计数的方法可处理外差信号实现亚纳米分辨率，具有电路简单、能计大数的优点，但会引入电子信号的相位畸变，引入测量的动态误差。本文通过理论和实验分析了这一误差，表明在电子倍频中锁相环引起的相位畸变仅在亚纳米量级，但在混频环节中带通滤波器引入的相位畸变则可达几纳米，引入较严重的误差。本文通过采用低频差横向塞曼激光器产生３２０ｋＨｚ的外差信号，并采用ＦＰＧＡ技术实现倍频后的高频率信号直接计数，省略混频环节，从而实现了高测量分辨率并避免了这一误差。

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Study on phase error of the heterodyne signal process system for nanometrology

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