光学纳米测量方法及发展趋势

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光学纳米测量方法及发展趋势

更新时间：2025-09-01

- 光学纳米测量方法及发展趋势
- Review on optical nanometrology
- 光学技术 1999年第3期
- 作者机构：
  
  1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1999
- 稿件说明：
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程晓辉, 赵洋, 李达成. 光学纳米测量方法及发展趋势[J]. 光学技术, 1999,(3).

Review on optical nanometrology[J]. 1999, (3).
程晓辉, 赵洋, 李达成. 光学纳米测量方法及发展趋势[J]. 光学技术, 1999,(3). DOI：

Review on optical nanometrology[J]. 1999, (3). DOI：

综述了光学方法中以频率跟踪方法、外差干涉仪、调频干涉仪、偏振干涉仪和光学光栅为代表的光学纳米测量方法。分析了它们的发展状况以及各自特点，指出建立适合于纳米测量的纳米环境是目前亟待解决的关键性问题，给出了光学纳米测量方法的发展方向和在设计测量系统时应该注意的问题

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