控制力精密抛光装置的设计与实验研究

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控制力精密抛光装置的设计与实验研究

更新时间：2025-09-01

- 控制力精密抛光装置的设计与实验研究
- Deisgn and development of presicion polishing equipment on control force
- 光学技术 1999年第4期
- 作者机构：
  
  1:西北工业大学精密超精密加工研究室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  航空科学基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1999
- 稿件说明：
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史兴宽, 杨健, 任敬心. 控制力精密抛光装置的设计与实验研究[J]. 光学技术, 1999,(4).

Deisgn and development of presicion polishing equipment on control force[J]. 1999, (4).
史兴宽, 杨健, 任敬心. 控制力精密抛光装置的设计与实验研究[J]. 光学技术, 1999,(4). DOI：

Deisgn and development of presicion polishing equipment on control force[J]. 1999, (4). DOI：

本文设计并研制了一套可控制抛光作用力的精密抛光装置，该装置具有抛光作用力微调功能及显示功能。用该装置对Ｚｅｒｏｄｕｒ陶瓷玻璃进行控制力抛光实验，稳定地获得了具有纳米级及亚纳米级表面粗糙度的超光滑表面，将该装置与机械化学抛光方法结合使用，可高效地加工出表面无损伤的超光滑基片。

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