观测表面反射像检测精密薄板玻璃翘曲度的理论分析

王作超

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观测表面反射像检测精密薄板玻璃翘曲度的理论分析

更新时间：2025-09-01

- 观测表面反射像检测精密薄板玻璃翘曲度的理论分析
- Theoretical analysis about measurement of the warp of precision sheet glass by observing the image reflected from the surface
- 光学技术 1999年第5期页码：65-70
- 作者机构：
  
  1:成都光明器材厂,成都,610051
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1999
- 稿件说明：
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王作超. 观测表面反射像检测精密薄板玻璃翘曲度的理论分析[J]. 光学技术, 1999,(5):65-70.

Theoretical analysis about measurement of the warp of precision sheet glass by observing the image reflected from the surface[J]. 1999, (5): 65-70.
王作超. 观测表面反射像检测精密薄板玻璃翘曲度的理论分析[J]. 光学技术, 1999,(5):65-70. DOI：

Theoretical analysis about measurement of the warp of precision sheet glass by observing the image reflected from the surface[J]. 1999, (5): 65-70. DOI：

摘要

分析了一种高效简便测试精密薄板玻璃翘曲度的方法。这种方法是通过观测精密薄板玻璃和基准平面反射同一参考物的像，检测两个像分离的程度来判定精密薄板玻璃的翘曲度。通过对精密薄板玻璃表面变形形态进行抽象、模拟和近似处理，从理论上推导出精密薄板玻璃翘曲度Ｗ ≤０．００３，样品尺寸在２００ｍｍ～５００ｍｍ的条件下，参考物直径与测量装置结构尺寸和翘曲度之间的关系式。

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