超光滑光学表面粗糙度的测定

徐德衍; 沈卫星; 林尊琪

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超光滑光学表面粗糙度的测定

更新时间：2025-09-01

- 超光滑光学表面粗糙度的测定
- Measurement of supersmooth optical surface roughness
- 光学技术 1999年第5期页码：40-42
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  2. 2:中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  3. 3:中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
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  中图分类号：
- 纸质出版：1999
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徐德衍, 沈卫星, 林尊琪. 超光滑光学表面粗糙度的测定[J]. 光学技术, 1999,(5):40-42.

Measurement of supersmooth optical surface roughness[J]. 1999, (5): 40-42.
徐德衍, 沈卫星, 林尊琪. 超光滑光学表面粗糙度的测定[J]. 光学技术, 1999,(5):40-42. DOI：

Measurement of supersmooth optical surface roughness[J]. 1999, (5): 40-42. DOI：

摘要

讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差，进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在ＺｙｇｏＭａｘｉｍ３Ｄ５７００表面轮廓仪上使用２－５ ×和２０ ×Ｍｉｒａｕ物镜测量ｒｍｓ在０－３ｎｍ左右的超光滑硅片，通过对每个取样区域数据１６次相位平均，再对多个取样区域高度数据平均，消除了仪器的系统误差，使超光滑光学表面粗糙度得到精确测量。并使用其它光学轮廓仪对样品做了验证测量。作为比较，在同样条件下测量了０－８ｎｍ左右的光滑硅片。

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Measurement of supersmooth optical surface roughness

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