实现光束变换的连续位相衍射光学器件的研制

谭峭峰; 严瑛白; 金国藩; 邬敏贤; 付绍军; 徐向东; 洪义麟

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实现光束变换的连续位相衍射光学器件的研制

更新时间：2025-09-01

- 实现光束变换的连续位相衍射光学器件的研制
- Design and manufacture of continuous phase diffractive optical element to realize beam transform
- 光学技术 1999年第6期页码：74-76
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  2. 2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  3. 3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  4. 4:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家高技术863416 资助;国家自然科学基金(U20B2057)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1999
- 稿件说明：
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谭峭峰, 严瑛白, 金国藩, 等. 实现光束变换的连续位相衍射光学器件的研制[J]. 光学技术, 1999,(6):74-76.

Design and manufacture of continuous phase diffractive optical element to realize beam transform[J]. 1999, (6): 74-76.
谭峭峰, 严瑛白, 金国藩, 等. 实现光束变换的连续位相衍射光学器件的研制[J]. 光学技术, 1999,(6):74-76. DOI：

Design and manufacture of continuous phase diffractive optical element to realize beam transform[J]. 1999, (6): 74-76. DOI：

摘要

本文利用基于模拟退火法和爬山法相结合的混合优化算法，实现光束变换的连续位相衍射光学器件的设计。通过灰阶掩膜板及离子刻蚀工艺，研制了 Φ１００ｍｍ的连续位相衍射光学器件。通过多级衰减片及ＣＣＤ实现了焦斑光强分布测量。测量结果表明：边缘陡峭、旁瓣小、中心主瓣具有一定均匀性，且没有中心零级锐脉冲的焦斑光强分布

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