形位误差光电检测系统研究

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形位误差光电检测系统研究

更新时间：2025-09-01

- 形位误差光电检测系统研究
- Research on photoelectric inspecting system of formal and positional errors
- 光学技术 2001年第1期页码：29-33
- 作者机构：
  
  1. 1:长春光学精密机械学院,长春,130022
  2. 2:长春光学精密机械学院,长春,130022
  3. 3:长春光学精密机械学院,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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谢劲松, 李成志, 赵铁钧. 形位误差光电检测系统研究[J]. 光学技术, 2001,(1):29-33.

Research on photoelectric inspecting system of formal and positional errors[J]. 2001, (1): 29-33.
谢劲松, 李成志, 赵铁钧. 形位误差光电检测系统研究[J]. 光学技术, 2001,(1):29-33. DOI：

Research on photoelectric inspecting system of formal and positional errors[J]. 2001, (1): 29-33. DOI：

简述了形位误差光电检测系统的结构和工作原理

为保证扫描速度均匀

利用激光特性而设计特殊的光学系统。为满足检测系统需要而设计了精密机械系统

伺服控制系统

电子学和计算机数字计算与数据处理系统

实现了高速、高效、高精度、非接触的自动检测。

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