基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪

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基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪

更新时间：2025-09-01

- 基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪
- Surface 3D profiler based on scanning white light interferometry method
- 光学技术 2001年第2期页码：150-152
- 作者机构：
  
  1. 1:上海宝钢股份有限公司研究院设备所,上海,201900
  2. 2:上海交通大学电子信息学院,上海,200030
  3. 3:哈尔滨工业大学特种加工研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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何永辉, 蒋剑峰, 赵万生. 基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪[J]. 光学技术, 2001,(2):150-152.

Surface 3D profiler based on scanning white light interferometry method[J]. 2001, (2): 150-152.
何永辉, 蒋剑峰, 赵万生. 基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪[J]. 光学技术, 2001,(2):150-152. DOI：

Surface 3D profiler based on scanning white light interferometry method[J]. 2001, (2): 150-152. DOI：

在强调表面三维形貌测量重要性的基础上

介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例

反映了该三维轮廓仪的主要特点

适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。

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