基于干涉条纹跟踪实现纳米级位移测量的方法研究

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更新时间：2025-09-01

- 基于干涉条纹跟踪实现纳米级位移测量的方法研究
- Algorithm for automatic tracing of interference fringe and its application to nanometer measurement
- 光学技术 2001年第3期页码：223-225
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
  3. 3:中国计量学院计量与测控系,杭州,310034
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目! (597750 87)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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陈本永, 李达成, 朱若谷. 基于干涉条纹跟踪实现纳米级位移测量的方法研究[J]. 光学技术, 2001,(3):223-225.

Algorithm for automatic tracing of interference fringe and its application to nanometer measurement[J]. 2001, (3): 223-225.
陈本永, 李达成, 朱若谷. 基于干涉条纹跟踪实现纳米级位移测量的方法研究[J]. 光学技术, 2001,(3):223-225. DOI：

Algorithm for automatic tracing of interference fringe and its application to nanometer measurement[J]. 2001, (3): 223-225. DOI：

设计了一套干涉条纹图像实时采集处理系统。在分析迈克尔逊干涉条纹特征表象的基础上

给出了通过跟踪干涉条纹的移动量测量被测对象纳米级位移量的理论公式 ;提出了干涉条纹特征点的提取与跟踪算法 :分段线性变换、方形窗口中值滤波和门限化边缘提取

给出了基于统计学原理的通过计算多条干涉条纹移动量获得被测对象纳米级位移量的计算公式。实验结果表明了该方法的有效性和实用性

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