CCD在光学镀膜宽带膜厚监控系统中的应用研究

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更新时间：2025-09-01

- CCD在光学镀膜宽带膜厚监控系统中的应用研究
- The research of CCD applied in wideband monitoring of optical film thickness
- 光学技术 2001年第2期页码：143-145
- 作者机构：
  
  1. 1:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
  2. 2:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
  3. 3:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
  4. 4:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
- 作者简介：
- 基金信息：
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  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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刘晓元, 周宁平, 黄云, 等. CCD在光学镀膜宽带膜厚监控系统中的应用研究[J]. 光学技术, 2001,(2):143-145.

The research of CCD applied in wideband monitoring of optical film thickness[J]. 2001, (2): 143-145.
刘晓元, 周宁平, 黄云, 等. CCD在光学镀膜宽带膜厚监控系统中的应用研究[J]. 光学技术, 2001,(2):143-145. DOI：

The research of CCD applied in wideband monitoring of optical film thickness[J]. 2001, (2): 143-145. DOI：

讨论了 CCD的主要特性及对宽带膜厚监控系统的影响

介绍了典型的 CCD数据采集系统。建立了一套基于 CCD的宽带膜厚监控系统

并对该系统进行了光谱标定及光谱补偿

给出了提高信噪比及减小非线性影响的处理方法。

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