大视场面阵CCD显微测量仪

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大视场面阵CCD显微测量仪

更新时间：2025-09-01

- 大视场面阵CCD显微测量仪
- Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement
- 光学技术 2001年第3期页码：266-267
- 作者机构：
  
  1. 1:南昌大学物理系,南昌,330029
  2. 2:南昌大学物理系,南昌,330029
  3. 3:南昌大学物理系,南昌,330029
  4. 4:南昌大学物理系,南昌,330029
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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杜文华, 王鸣, 马力, 等. 大视场面阵CCD显微测量仪[J]. 光学技术, 2001,(3):266-267.

Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement[J]. 2001, (3): 266-267.
杜文华, 王鸣, 马力, 等. 大视场面阵CCD显微测量仪[J]. 光学技术, 2001,(3):266-267. DOI：

Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement[J]. 2001, (3): 266-267. DOI：

充分利用 CCD技术和计算机的图像处理能力

在满足大多工业精度要求的前提下

研制成了一种低成本、大视场的 CCD显微测量仪

用于光学元件的检测。当线视场为 10 mm时

该系统的横向分辨率可达 12 .9μm

精度可达1μm

纵向分辨率可达λ/8

足以满足一般工业检测的需要

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