高测速双频激光干涉仪

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高测速双频激光干涉仪

更新时间：2025-09-01

- 高测速双频激光干涉仪
- High measurement speed dual frequency laser interferometer
- 光学技术 2001年第3期页码：238-239
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目!(No.597351 2 0 )
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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高赛, 殷纯永. 高测速双频激光干涉仪[J]. 光学技术, 2001,(3):238-239.

High measurement speed dual frequency laser interferometer[J]. 2001, (3): 238-239.
高赛, 殷纯永. 高测速双频激光干涉仪[J]. 光学技术, 2001,(3):238-239. DOI：

High measurement speed dual frequency laser interferometer[J]. 2001, (3): 238-239. DOI：

现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到 10 0 0 mm/ s

而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此研制了一种基于 5 MHz频差双反射膜激光器的高测速干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度进行了验证。实验证明

该种干涉仪可以对速度为 10 0 0 mm/ s的运动物体进行位移和速度测量

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