用于微位移测量的笔束激光干涉仪

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用于微位移测量的笔束激光干涉仪

更新时间：2025-09-01

- 用于微位移测量的笔束激光干涉仪
- A novel measurement method for microdisplacement based on pencil beam interferometer
- 光学技术 2001年第3期页码：206-208
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系!精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 2,北京,100084
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系!精密测试技术及仪器国家重点实验室
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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李直, 赵洋, 李达成. 用于微位移测量的笔束激光干涉仪[J]. 光学技术, 2001,(3):206-208.

A novel measurement method for microdisplacement based on pencil beam interferometer[J]. 2001, (3): 206-208.
李直, 赵洋, 李达成. 用于微位移测量的笔束激光干涉仪[J]. 光学技术, 2001,(3):206-208. DOI：

A novel measurement method for microdisplacement based on pencil beam interferometer[J]. 2001, (3): 206-208. DOI：

介绍了一种基于空间干涉原理的亚微米零差干涉位移测量方法。该方法是对笔束激光干涉仪在微位移测量领域的应用

干涉仪的测量精度不受光束波前畸变等光源噪声的影响。给出了干涉仪主要结构参数的选取原则 ;构建了用于微位移测量的笔束激光干涉仪实验系统。实验结果表明

该系统具有纳米测量分辨率。

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