表面具有光栅结构的sol-gel薄膜制备及衍射效率的研究

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更新时间：2025-09-01

- 表面具有光栅结构的sol-gel薄膜制备及衍射效率的研究
- Diffraction properties of sol-gel coatings with sinusoidal surface-relief gratings
- 光学技术 2001年第4期页码：324-325
- 作者机构：
  
  1. 1:上海同济大学波耳固体物理研究所,200092
  2. 2:上海同济大学波耳固体物理研究所,200092
  3. 3:上海同济大学波耳固体物理研究所,200092
  4. 4:上海同济大学波耳固体物理研究所,200092
- 作者简介：
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  中图分类号：
- 纸质出版：2001
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李小丽, 李佛生, 王珏, 等. 表面具有光栅结构的sol-gel薄膜制备及衍射效率的研究[J]. 光学技术, 2001,(4):324-325.

Diffraction properties of sol-gel coatings with sinusoidal surface-relief gratings[J]. 2001, (4): 324-325.
李小丽, 李佛生, 王珏, 等. 表面具有光栅结构的sol-gel薄膜制备及衍射效率的研究[J]. 光学技术, 2001,(4):324-325. DOI：

Diffraction properties of sol-gel coatings with sinusoidal surface-relief gratings[J]. 2001, (4): 324-325. DOI：

介绍了一种在 sol- gel薄膜表面形成光栅结构的方法。用扫描电子显微镜 (SEM)表征了薄膜的表面形貌

用原子力显微镜 (AFM)测量了光栅结构的深度。测试了这种结构表面的衍射特性

并对结果进行了分析

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