差动共焦式纳米级光聚焦探测系统的研究

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差动共焦式纳米级光聚焦探测系统的研究

更新时间：2025-09-01

- 差动共焦式纳米级光聚焦探测系统的研究
- Optical focus detection system with nanometer resolution using differential confocal microscope
- 光学技术 2001年第3期页码：232-234
- 作者机构：
  
  1. 1:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001
  2. 2:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  总装备部九五预研项目!(1 8.6.1 .4/ 9760 0 0 - 0 5)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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王富生, 谭久彬. 差动共焦式纳米级光聚焦探测系统的研究[J]. 光学技术, 2001,(3):232-234.

Optical focus detection system with nanometer resolution using differential confocal microscope[J]. 2001, (3): 232-234.
王富生, 谭久彬. 差动共焦式纳米级光聚焦探测系统的研究[J]. 光学技术, 2001,(3):232-234. DOI：

Optical focus detection system with nanometer resolution using differential confocal microscope[J]. 2001, (3): 232-234. DOI：

为解决纳米级大范围的非接触测量问题

提出了基于差动式共焦显微技术的光聚焦探测系统。介绍了系统的工作原理和结构装置

对系统中的关键技术进行了优化设计

通过对共焦光路的差动设计

可以有效地抑制光源的噪声和漂移对测量结果的影响。初步实验结果表明

该系统的轴向分辨率可达 2 nm

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